集微网消息，近日，路维光电在接受机构调研时表示，掩膜版的主要原材料是掩膜基板、光学膜等，目前国内供应商已经能够供应部分种类的基板，但高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国，国内暂无国产化能力。
公司积极探索掩膜版上游材料领域，对光阻材料特性进行深入研究，分别于2016年、2018年自主开发了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻涂布技术，实现了国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术上零的突破及对产业链上游技术的成功延伸。公司将以光阻涂布技术为突破点，持续向上游原材料技术延伸。
随着下游产品的技术发展，平板显示掩膜版主要演进方向包括大尺寸化、高精细化等，从产品尺寸看，平板显示产品历经二十年换代时间（从G1到G11），G11是目前全球最高世代。G11掩膜版由于基板面积更大，因此图形精度及均匀性、位置精度、缺陷控制、Mura控制等环节技术难度更高。公司G11 掩膜版产品相关技术指标已达到国际先进水平，CD精度可控制在±0.1µm以内，总长及位置精度可控制在±0.5µm以内。
随着公司技术进步，在半导体芯片制造、封装等领域与核心客户合作日益紧密，公司在产业链中的市场地位和定价能力有所提升；此外，产品定制化要求越高、精度越高，单价和毛利率水平越高，2019-2021年，公司较高精度半导体掩膜版销售占比稳步提高，高精度掩膜版销售的增加进一步优化了半导体类产品结构，带动了半导体掩膜版盈利水平持续提升。
路维光电称，半导体掩膜版按具体应用领域分类为IC封装、IC器件、LED外延片、MEMS等。在前述领域，公司已与国内某些领先芯片公司及其配套供应商士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等国内知名的下游半导体公司建立了长期、稳定的业务合作关系。
据悉。路维光电主要客户有京东方、华星光电、天马、信利等。
公司生产掩膜版所需的主要原材料为掩膜版基板、光学膜，目前掩膜基板中中大型尺寸石英基板尚依赖进口，其中，高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国，目前国内暂无供应商可提供替代品。
路维光电称，公司坚持“以屏带芯”发展战略，半导体掩膜版是公司业务的主要发展方向之一。目前公司已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产，掌握180nm/150nm制程节点半导体掩膜版制造核心技术能力。公司募投项目会进一步将半导体掩膜版量产能力提升至130nm制程节点，并立足于自主研发、突破半导体掩膜版制造中的精度控制、缺陷控制等关键技术，将掌握的半导体掩膜版制作技术进一步推进至110nm/90nm/65nm等制程节点。
（校对/李正操）
