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森美协尔推出A12量产型全自动晶圆探针台

集微网消息 7月15日-16日,由厦门市海沧区人民政府、厦门市工业和信息化局、厦门火炬高技术产业开发区管理委员会指导,中国半导体投资联盟、手机中国联盟主办,厦门半导体投资集团、爱集微承办的2022年第六届集微半导体峰会在厦门国际会议中心酒店举行。

峰会期间,国内领先的高性能晶圆探针台与测试方案提供商深圳市森美协尔科技有限公司(下文简称“森美协尔”)携其自主研发的A12量产型全自动晶圆探针台方案亮相,展位号A22。

据了解,森美协尔研发的A12是一款12寸(兼容8寸)的量产型全自动晶圆探针台,通过使探针卡与晶圆Pad点之间精准接触,实现完成晶圆WAT/CP测试,该设备操作简单并具有良好的机械稳定性,能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案,满足(晶圆厂、封测厂、测试厂)等不同客户的测试需求。

一款产品,三大优势

集微网获悉,该公司在2016年就启动了对全自动晶圆探针台项目的研发,并逐步开始布局工业级晶圆探针台领域市场。经过不断的技术迭代更新,A12全自动探针台已拥有同步国外的先进技术:低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别,减少了晶圆的加载时间;高强度低重心设计,支持高针数探针卡,且价格更合理,本土化服务网络及遍布全球的海外代理。

综上来看,森美协尔自研的A12探针台从技术、服务、价格三个方面全方位的体现了产品的核心竞争力。

不仅如此,本次展出的创新性A12探针台在晶圆自动上下片装载输送、微米级全闭环运动控制、Wafer自动精准对针、视觉自动精确校准、高速反馈通信、数据信息处理等技术方面作出了全新升级改进,设备采用了一种高稳定的晶圆探针测试技术。加之A12探针台使用了该公司自主研发软件,兼容性更强的同时也具备丰富的功能。

A12探针台软件具备强大的wafermap编辑功能,支持离线和文件导入导出功能;PMI针痕检测功能;Pre-Alignment功能;Device、Configuration、Utility参数独立管理功能;高分辨率和高精度的温度控制;各种精度补偿算法;32bit的BIN分功能;支持GPIB,TCP/IP等测试机通信协议;支持SECS/GEM通信协议,满足工厂MES通信;Wafer ID识别功能,支持点,斜杠和中杠等特殊字符;高速的图像Autofocus功能;支持不同的针卡Multi-Site Location等多个方面都有亮眼表现。

作为一家国家高新技术企业、深圳高新技术企业、深圳市专精特新企业,森美协尔在探针台及测试方案领域的实力并不仅限于此。

目前,探针台市场主要分为科研型手动/半自动探针台、量产型全自动探针台两个部分。该公司告诉集微网:“探针台的主要作用是将晶粒参数特性测试出来并进行分类,便于后续工序筛选。随着5G基站、新能源汽车、快充和光伏等行业应用的兴起,以SiC和GaN为代表的功率半导体市场空间稳步增长,能够应对大功率器件测试需求以及满足用户于高低温环境下的各种性能测试要求的探针台需求将会日益增涨。全自动探针台目前的发展需求还是主要集中在设备通用性、稳定性、测试效率、终端操作对机台的接受和使用程度的问题、机台的交期等,这些也是厂商选用机台的主要评判指标。”

基于对客户需求和技术趋势的精准判断,从2010年成立至今,森美协尔已经服务了包括:高校与科研院所、集成电路FAB、面板厂、封测厂等众多国内外知名企业,公司在半导体测试领域有着诸多的成功技术案例与经验。

由该公司提供的标准化与定制化探针台系统,涵盖了从实验室到晶圆厂的测试测量应用需求,并全面满足科研及量产各环节的测试需要,产品包括:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台、TEG探针台。设备广泛应用WAT测试,CP测试,I-V/C-V测试,RF/mmW测试,高压/大电流测试,MEMS、高低温测试,光电器件测试,晶圆级失效分析,霍尔测试等。

加快研发效率,匹配市场需求

众所周知,过去很长一段时间里,探针台市场的话语权都掌握在几家海外大厂手中,国内企业想要在市场上占据一席之地并不容易。以全自动探针台为例,由于技术门槛高,研发周期长且投入成本大,目前全球市场份额主要是被日韩厂商所垄断。

森美协尔也坦言:“客户资源积累需要长时间市场耕耘,半导体测试设备存在一个使用习惯和技术信任问题,一旦在产线投入使用,客户在后期很难出现产品替换。在获得半导体客户订单前,下游客户特别是国际知名企业认证的周期较长,测试设备的替换需要一系列的认证流程,客户还需要结合产线安排和芯片项目的情况,对测试系统稳定性、精密性与可靠性、一致性等特性要求进行验证。客户严格的认证制度和长认证周期增加了新进入的企业获得订单的难度和投入成本。”

虽然前路道阻且长,但随着全球芯片市场持续扩大,第一大市场中国正持续增加产能,也让包括森美协尔在内的国产厂商拥有了更多的信心和底气。

该公司指出:“日系厂商的产线排产量比较稳定,并不会根据市场需求而扩增产品线,从而导致订货交期长,产能无法满足市场需求的状况出现,国内厂商可以从机台交期以及快速响应的售前售后服务作为突破口切入市场,填补近几年激增的市场需求。”

为了能够准确把握住行业上行周期带来的机会,森美协尔接下来的研发重心一方面在于科研型探针台的标准化/轻量化发展,另外一部分主要是集中在全自动探针台。据悉,从第三季度开始,已经陆续有向多家厂商的出机计划,该公司也会加快效率,快速匹配市场需求。

最后谈及选择这条赛道的原因,森美协尔表示:“选择一项事业,一般主要是从2个方向,选择一个极大的点,或者是聚焦一个极小的点。一块小小的芯片上集成的微电子器件数量成百上千万,现代计算、交流、制造和交通系统,包括互联网,全都依赖于集成电路的存在。从创立之初,SEMISHARE就已经将“立足服务于芯片产业,助力中国制造自主领先的芯片,推动全球半导体行业发展”的使命根植于企业DNA。森美协尔的英文由SEMI(半导体)和SHARE(分享、交易)构成,求是、勇敢、价值、共享也一直是我们一直秉承的初衷和企业精神,我们以追求真理的科学态度为指引,坚持自主技术研发创新,以客户需求为导向,目标是成为全球知名的半导体测试设备提供商。”(校对/Lee)

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