集微网报道 8月10日，中微公司发布业绩报告称，2022年上半年，公司实现营业收入19.72亿元，同比增长47.30%；归母净利润4.68亿元，同比增长17.94%；扣非净利润4.41亿元，同比增长615.26%。
分产品来看，2022年上半年，中微公司刻蚀设备收入为12.99亿元，同比增长约51.48%，毛利率达到46.05%；其中CCP刻蚀设备收入8.86亿元，同比增长13.98%；ICP刻蚀设备收入4.13 亿元，同比增长414.08%；而MOCVD 设备收入为2.41亿元，同比增长约9.90%，毛利率达到35.42%，较去年同期增长约4.65%。
新增订单方面，中微公司指出，2021年全年新增订单金额比2020年增长90.46%，达到41.29亿元。而公司2022年上半年新签订单金额同比增长约61.83%，达30.57 亿元。
对于业绩增长，中微公司表示，2022 年上半年，公司坚持以市场和客户需求为导向，积极应对复杂形势，持续加大研发投入和业务开拓力度，等离子体刻蚀设备及 MOCVD 设备等核心业务保持了高速和稳定的增长。受益于设备市场发展及公司产品竞争优势，公司克服新冠疫情的不利影响，在客户和供应商的密切合作及支持下，公司的综合竞争优势继续得到强化和提升，公司产品订单、付运及营业收入取得了超预期的成绩。
上半年，中微公司 CCP 刻蚀设备产品保持竞争优势，Primo D-RIE®、Primo AD-RIE®、Primo SSC AD-RIE®、Primo HD-RIE®等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，并持续提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位。在先进逻辑电路方面，公司持续升级产品性能，成功取得 5 纳米及以下逻辑电路客户的重复订单。在存储电路方面，公司的刻蚀设备在 64 层、128 层及更高层数 3D NAND 的生产线得到广泛应用。随着 3D NAND 芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单高速稳步增长。
同时，公司积极布局并拓展刻蚀设备在动态存储器的应用，随着更多工艺开发及验证通过，已经取得客户批量订单。公司积极与主流客户合作，定义下一代 CCP 刻蚀机的主要功能及技术指标，正开发更先进的 CCP 刻蚀机产品。
目前，中微公司ICP 刻蚀设备产品出货量保持高速增长。Primo nanova® ICP 刻蚀产品已经在超过 15 家客户的生产线上进行 100 多个 ICP 刻蚀工艺的验证，工艺覆盖 3D NAND 芯片、DRAM 芯片及逻辑芯片，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并顺利投入量产，且持续扩展到更多刻蚀应用的验证。截止到 2022 年 6 月底，Primo Nanova®已经顺利交付超过 220 台反应腔，且在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。报告期内，公司持续取得国际先进 3D NAND 客户批量订单。
另外，中微公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备市场，开发氮化镓功率器件量产应用的 MOCVD 设备，目前已交付国内外领先客户进行生产验证。此外，公司启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，将进一步丰富公司的产品线。
而这离不开公司持续不断的研发投入。上半年，中微公司研发投入达到3.46 亿元，占营业收入的比重为 17.56%，研发投入同比增长 20.88%。截至 2022 年 6 月 30 日，公司已申请 2,085 项专利，其中发明专利 1,799 项；已获授权专利 1,189项，其中发明专利 1,011 项。（校对/李杭森）
