盛美上海将为硅片和碳化硅衬底制造推出新型预清洗设备 《科创板日报》14日消息,据盛美上海消息,今日推出新型化学机械研磨后(Post-CMP)清洗设备。这是公司的第一款Post-CMP清洗设...2022-07-14