ASML传来新消息,关于新一代EUV光刻机,核心三大件已到货 ASML正在努力开发下一代High-NA EUV光刻机,具体型号为EXE:5000。这台光刻机将采用高数值孔径系统打造,孔径数提升到了0.5...2022-07-20